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값싸고 손쉽게 반도체 회로 양산

중앙일보 2011.05.31 00:20 경제 9면 지면보기



기계연구원 이재종 박사팀 ‘나노임프린트’ 기술 국산화





손쉽고 값싸게 반도체의 회로를 찍어 낼 수 있는 장비 ‘나노임프린트’가 국산화됐다.



 한국기계연구원 나노공정장비연구실 이재종(50·사진) 박사팀은 반도체 등 각종 회로를 선폭(線幅) 30나노m(1나노m는 10억분의 1m) 정도로 가늘고, 여러 층으로 만들 수 있는 ‘다층 나노임프린트 장비’를 개발하는 데 성공했다고 30일 밝혔다. 이에 따라 아주 작은 전자 소자 등을 국산 장비로 값싸게 제조할 수 있는 길이 열렸다. 기존에는 반도체나 유연한 플라스틱 소재 등에 회로를 만들기 위해서는 고가의 장비와 복잡한 공정을 거쳐야 했다.



 이 박사가 개발한 나노임프린트 장비는 복잡한 회로가 그려진 스탬프를 반도체 웨이퍼 등에 도장 찍듯 찍은 뒤 자외선이나 열을 가하면 완성되도록 했다. 스탬프의 잉크가 자외선이나 열을 받으면 굳어지는 원리를 이용한 것이다.



 장비는 지름 15㎝(6인치) 이상 큰 면적의 반도체 웨이퍼 등을 소재로 사용할 수 있고, 회로 층별 정렬 오차를 10나노m 이하로 할 수 있는 성능을 갖고 있다.



 다층 나노임프린트 장비는 반도체와 하드디스크·통신소자·태양전지 등 다양한 극소형 정밀 소자 생산에 활용된다. 연구팀은 기업에 관련 기술을 이전하기로 계약을 맺었다. 또 최근 5년간 17건의 특허를 등록했고 19건은 특허 출원한 상태다.



 이 박사는 “성능은 외국 장비와 비슷하지만 원천기술을 국내에서 갖게 돼 관련 산업에 파급 효과가 클 것”이라고 예상했다.



 박방주 과학전문기자



◆나노임프린트(nanoimprint)=아주 가느다란 회로를 반도체 웨이퍼 등 소재 위에 도장 찍듯 찍어 내는 기술. 각종 전자 소자의 회로 제작에 최근 활용 되기 시작한 첨단 기술이다.
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